|
遵化市三石电子技术研究所
联系人:陈女士 女士 (文职) |
 |
电 话:0315-6027065 |
 |
手 机:13582840437 |
 |
 |
|
 |
|
供应SS-II系列直流磁控溅射电源 |
|
- 发布时间:2018年06月12日
- 有 效 期:2018年12月12日
|
|
SS-II系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。
电源功率范围 10-120KW
输入电源 AC380V三相四线制 50-60HZ±10%
输出方式 直流
输出电压 空载800V
灭弧时间 ≤20uS
输出电流稳定率 0.5%
冷却方式 10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境 环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
冷却水 清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-30℃
压力 0.15±0.05Mpa
说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整 |
|
|